标签 > 佳能将发布新款光刻机，单小时产能可达400片晶圆

佳能在 2026 年 11 月 10 日正式对外发布 KrF 扫描光刻机 FPA‑6400ES6a，计划在同年 12 月上旬上市，在指定 96 shot 条件下