华邦电子布局 EUV 光刻机路线,计划 2030 年落地 EUV 版 14nm DRAM

华邦电子对外公布 DRAM 先进制程路线,14nm DRAM 分成两条技术分支,一条是不用 EUV 的版本先行落地,另一条搭载 EUV 光刻的第二代