中微 Primo Matrix 等离子体晶圆切割设备交付,补齐先进封装国产刻蚀装备一环

中微半导体(中微公司,688012)正式发布 Primo Matrix 双反应台等离子体晶圆切割设备,首台整机已经交付国内头部集成电路封装客户;等