标签 > 佳能发布 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，宣称实现高生产率和业界高水平套刻精度

佳能在 2026 年 11 月 10 日正式对外公布新款 KrF 扫描光刻机 FPA-6400ES6a，这款机器定位存储芯片、逻辑芯片量产，计划在 2026