标签 > 国产光刻机里程碑！前道干式光刻机落地：流片破千万片

第九届进博会上，上海微电子 SMEE 展出 SSC800（KrF）、SSB800（I-line）新一代前道干式扫描投影光刻机平台，多台设备已经在国内头部逻