光刻机软件测试采用故障注入 人为制造故障验证安全与容错能力

光刻机软件测试里故意制造故障,专业叫法是故障注入测试,核心目的就是主动验证光刻机控制软件在异常状况下能不能安全、正确响应,而不是只