标签 > 扒一扒，薄膜沉积设备

薄膜沉积设备是芯片制造里必不可少的核心装备，作用就是在晶圆表面均匀镀上一层极薄的薄膜材料，是光刻、刻蚀之外三大关键工序之一。芯片内